microactuator相关论文
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本文通过对荣华二采区10...
A novel asymmetric optothermal microactuator was developed. A microactuator of 750μm length was machined by an excimer ......
与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少......
一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功。为了进一步提高微泵性能，研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性。结果表明，随......
介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。......
采用理论分析和有限元数值模拟相结合的方法,对压电折叠梁微执行器在低电压下工作时的器件结构进行优化设计。首先通过理论分析获......
提出了V型电热硅微致动器的弯曲振动力学模型。考虑到微米尺度上的硅梁难以简化为质量块、弹簧振动模型,采用了连续体建模,据此可......
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
压电和电致伸缩材料，根据其压电和电致伸缩效应，可作为新型的微位移器件。它具有结构紧凑、体积小、分辨率高、控制简单等优点。不存......
概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技......
超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件，文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理，综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新......
介绍一个硬盘双伺服控制系统的设计和实现。双伺服系统是在硬盘固有的音圈电机上附加了一个压电微执行器，用来执行更快捷、精确的磁......
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件。介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究......
本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。更多还原......
提出了一种新颖的基于权值的微机械数模转换器。它的原理与电路中的权电阻数模转换器类似。通过改变纵向梁的长度获得不同的刚性值......
在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模......
介绍了一种用硅微加工技术制作的ＮｉＴｉ／Ｓｉ薄膜结构的双向微驱动器。它利用ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜（ＳＭＡ）大的相变回复应力和Ｓｉ衬底膜的反偏置力产生有一定......
建立了ＳＭＡ薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ薄膜／基片的耦合驱动是双金属效应和形状......
镍钛合金形状记忆薄膜的图形化技术曾是其实用化的主要障碍之一，现在一种工作性能优越的化学刻蚀液可以实现薄膜的高精度图形化，该刻......
应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析.因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大,溅射在Si(100)衬底上的TiNi膜......
图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.......
本文给出了一种基于轨迹分段线性化TPWL（Trajectory Piecewise-Linear）方法的非线性热电耦合宏建模技术。首先建立了MEMS热微执行器......
主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺，该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl silox......
本文首先分析了热驱动微执行器的基本及其相对于静电驱动，磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构的原理，特点，它们的某些典型......
由于静电驱动具有结构简单、响应时间短和功耗小等优点,在微执行器中得到了广泛的应用.随着应用范围的不断扩大,实际使用中对微执......
磁致伸缩薄膜是一种性能优异的微驱动元件.本文针对磁致伸缩薄膜-基体结构中薄膜磁致伸缩系数与层合结构变形之间关系的问题,从经......
提出了一种新型的激光光热控制触点开关式微驱动机构;对于驱动性能受到形状参数的影响进行了理论分析;采用KrF准分子激光器制备了......
根据压电致动的工作原理,建立了圆片微驱动装置的压电复合层薄板的机电耦合力学模型:应用弹性薄板的小挠度弯曲理论,推导出圆形压......
用有限元法对微驱动器进行计算分析，采用Ｎｅｗｔｏｎ－Ｒａｐｈｓｏｎ法进行非线性迭代，首次获得微驱动器的角偏转刚度计算结果，并将计算结果与日本铃森康一等人的......
与静电微执行器类似，磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题.对于宏观器件，由于磁芯磁阻可以忽略，所以可以利用电磁类比，得到Pull-i......
<正> A novel asymmetric optothermal microactuator was developed.A microactuator of 750μm length wasmachined by an excim......
基于控制移动机构和支撑面之间摩擦力的方法，提出了新型惯性冲击式压电陶瓷驱动机构的研究方案。分析了驱动机构的工作原理，驱动电压......
A novel 4 by 4 array of electromagnetic micro-actuators operating on the principle of voice-coil actuators is presented.......
介绍采用普通低耐压器件三端可调集成稳压块实现的３００Ｖ输出的压电陶瓷驱动电源的设计思想，电路原理，设计计算及安装调试等内容，该设计的特......
本文简单地评述了微传感器和执行器的发展概况。...
